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X射線X-ray
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微光顯微鏡EMMI（P-100）
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經(jīng)濟(jì)型6寸探針臺(tái)MPW-600
4寸探針臺(tái)PW-400
12寸探針臺(tái)PW-1200
掃描電鏡SEM
聚焦離子束FIB
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離子刻蝕機(jī)RIE-10NR
離子刻蝕機(jī)RIE-1C
O/S測(cè)試機(jī)
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